金融界2025年1月10日音讯,国家知识产权局信息数据显现,深圳市鹏乐智能体系有限公司获得一项名为“一种晶圆检测查验测验渠道”的专利,授权公告号 CN 222299504 U,请求日期为 2024年4月。
专利摘要显现,本实用新型公开了一种晶圆检测大理石查验测验渠道,包含大理石主渠道、包含大理石靠板、X 轴部件、Y 轴部件、Z 轴部件,本实用新型的检测渠道由高平面度的大理石作为基底,比较于传统选用框架式机架做基底的,可保证后续装置和多轴设备正常运转时的一个平整度以及供给大分量底座,可保证上端设备运作时不容易晃动不会轰动本查验测验渠道 X Y 轴由高精度直线电机、高精度导轨组成,使 X、Y 运转平稳,且运动精度与重复精度高,定位精度达±1μm;检测渠道 X、Y 轴装备高精度光栅尺位移传感器,定位精度±1μm;检测渠道底部装置橡胶减震垫,削减机台的全体颤动,使机台运动结构平稳运转。
天眼查资料显现,深圳市鹏乐智能体系有限公司,成立于2019年,坐落深圳市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册本钱600万人民币,实缴本钱350万人民币。经过天眼查大数据分析,深圳市鹏乐智能体系有限公司知识产权方面有商标信息4条,专利信息11条,此外企业还具有行政许可4个。