近来，市场监管总局新同意二维铬纳米栅格规范物质、二维硅纳米栅格规范物质、一维硅纳米光栅规范物质3项国家一级规范物质，能够一起满意纳米制作工业视点和长度校准需求，为新一代信息技能、新材料、生物制作、高端配备等范畴的纳米制作供给精准“标尺”。
纳米制作，丈量先行。研发高精度的纳米级规范物质，是打造高准确度纳米丈量传递链，提高国产纳米制作产品质量可靠性的要害。规范物质研发单位同济大学相关专业的人介绍，二维铬纳米栅格规范物质打破性地选用分步堆积原子光刻技能，制备难度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数（铬原子跃迁频率），视点肯定准确性在0.001°量级，相当于把一个蛋糕按扇形均分红三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm，在没有划伤或损坏的情况下，每次运用2μm×2μm，不重复运用丈量区域次数可达20000次以上。可使用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准，也可使用于对超精细位移传感器多种参数的光栅干与法校准。
纳米级视点规范物质的研发成功，完成了纳米丈量范畴的扁平化计量，防止传统逐级量值传递方法形成的差错累积扩大，能够经过在线校准直接将高精度计量数据直接传递到企业计量现场，为我国纳米制作工业高水平质量的开展供给有力支撑。
下一步，市场监管总局将继续强化纳米丈量范畴规范物质研发使用，进一步处理纳米制作“测不了、测不全、测禁绝”问题，为筑牢新鼓起的工业和未来工业技能根底供给支撑保证。
